GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-05 18:28:00 浏览:9559
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基本信息
标准名称: | 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 |
英文名称: | Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials |
中标分类: | 仪器、仪表 >> 光学仪器 >> 电子光学与其他物理光学仪器 |
ICS分类: | 化工技术 >> 分析化学 >> 化学分析 |
发布部门: | 国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2006-03-27 |
实施日期: | 2006-11-01 |
首发日期: | 2006-03-27 |
作废日期: | 1900-01-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
提出单位: | 全国微束分析标准化技术委员会 |
归口单位: | 全国微束分析标准化技术委员会 |
起草单位: | 清华大学电子工程系 |
起草人: | 查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2006-11-01 |
页数: | 平装16开 页数:19, 字数:30千字 |
计划单号: | 20020617-T-469 |
适用范围
本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类: 仪器 仪表 光学仪器 电子光学与其他物理光学仪器 化工技术 分析化学 化学分析
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